[¾ÆÀ¯°æÁ¦=±èÇÊÁß ±âÀÚ] ¼¼°è ÃÖ´ë Á¾ÇÕÈÇбâ¾÷ÀÎ ¹Ì±¹ µàÆùÀÌ ±ØÀڿܼ±(EUV)¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® »ý»ê°øÀåÀ» ¿ì¸®³ª¶ó¿¡ Áþ±â·Î Çß´Ù. ³»³â±îÁö Ãæ³² õ¾È¿¡ EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¿Í CMPÆÐµå °³¹ß¤ý»ý»ê ½Ã¼³À» ±¸ÃàÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.
»ê¾÷Åë»óÀÚ¿øºÎ(ÀÌÇÏ »ê¾÷ºÎ)´Â Áö³ÇØ 7¿ù ÀϺ» Á¤ºÎÀÇ ¼öÃâ±ÔÁ¦ Á¶Ä¡ ÀÌÈÄ ÇÙ½É ¼ÒÀç¤ýºÎÇ°¤ýÀåºñÀÇ °ø±Þ ¾ÈÁ¤È¸¦ À§ÇØ µàÆù°ú Á÷Á¢ Á¢ÃËÇØ ÅõÀÚ À¯Ä¡¸¦ ÇùÀÇÇØ¿Ô´Ù. Áö³ 9ÀÏ¿¡´Â ¼ºÀ±¸ð »ê¾÷ºÎ Àå°üÀÌ Á÷Á¢ ¹Ì±¹ ½Ç¸®Äܹ븮¿¡¼ Á¸ ÄÍÇÁ µàÆù »çÀå°ú º°µµ·Î ¸¸³ª 2800¸¸ ´Þ·¯ ±Ô¸ðÀÇ ÅõÀÚ¿¡ ÇÕÀÇÇß´Ù°í ÇÑ´Ù.
ÀÌ °úÁ¤¿¡¼ Á¤ºÎ¿Í Áö¹æÀÚÄ¡´Üü, ÄÚÆ®¶ó°¡ ¿øÆÀ(One Team)À» ÀÌ·ï µàÆù°ú Àû±ØÀûÀÎ ÅõÀÚ Çù»óÀ» ÁøÇàÇß´Ù. ±× °á°ú, ¿ì¸®³ª¶ó°¡ °æÀï±¹À» Á¦Ä¡°í ÃÖÁ¾ ÅõÀÚó·Î ¼±Á¤µÉ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. ÀÌ´Â Á¤ºÎ°¡ ±×µ¿¾È ¼öµ¿ÀûÀ¸·Î ±â´Ù·È´ø °üÇàÀ» ±ú°í ¿Ü±¹ ±â¾÷¿¡ Àû±ØÀûÀÎ ÅõÀÚ¸¦ Á¦¾ÈÇØ ¾ò¾î³½ ¼º°ú¶ó´Â Á¡¿¡¼ ½Ã»çÇÏ´Â ¹Ù°¡ Å©´Ù.
¹«¾ùº¸´Ù À̹ø µàÆùÀÇ ÅõÀÚ°¡ ¹Ý°¡¿î °ÍÀº ÇöÀç ÁÖ·Î ÀϺ»»ê ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ°í ÀÖ´Â EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÇ °ø±Þ¼±À» ´Ùº¯ÈÇØ ÀϺ»¿¡ ´ëÇÑ ÀÇÁ¸µµ¸¦ ³·Ãß´Â µ¥ Å©°Ô ±â¿©ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÇ±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.
EUV Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ÀϺ»ÀÇ ¼öÃâ±ÔÁ¦ 3°³ Ç°¸ñ Áß Çϳª´Ù. ÀϺ»Àº Áö³ÇØ 7¿ù Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¿Í °í¼øµµ ºÒȼö¼Ò, Ç÷ç¿À¸° Æú¸®ÀÌ¹Ìµå µî ¹ÝµµÃ¼¤ýµð½ºÇ÷¹ÀÌ ÇÙ½É ¼ÒÀç 3°³ Ç°¸ñ¿¡ ´ëÇÑ ¼öÃâ±ÔÁ¦¸¦ ´ÜÇàÇß´Ù. ƯÈ÷ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÇ °æ¿ì Áö³ÇØ 1~5¿ù Àüü ¼öÀÔ¾×ÀÇ 90% ÀÌ»óÀÌ ÀϺ»»êÀÏ Á¤µµ·Î ÀÇÁ¸µµ°¡ ³ôÀº »óȲÀ̾ú´Ù.
´Ù¸¸ ÀϺ»Àº 3°³ ±ÔÁ¦ Ç°¸ñ Áß Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÇ Çѱ¹ °³º°¼öÃâÇã°¡¸¦ °¡Àå ¸ÕÀú ³»ÁÖ°í, Áö³´Þ(2019³â 12¿ù) 20ÀÏ¿¡´Â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®ÀÇ ¼öÃâÇã°¡ ¹æ½ÄÀ» °³º°Çã°¡¿¡¼ ƯÁ¤Æ÷°ýÇã°¡·Î ¿ÏÈÇßÁö¸¸ ±Ùº»ÀûÀÎ ÇØ°áÃ¥°ú´Â ¿©ÀüÈ÷ °Å¸®°¡ ¸Ö¾ú´Ù.
À̹ø ÅõÀÚ À¯Ä¡·Î ±¹³» »ê¾÷¿¡µµ ±àÁ¤ÀûÀÎ È¿°ú°¡ ±â´ëµÈ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç °ø±Þ ¾ÈÁ¤À» ÅëÇØ ÀϺ» ¼öÃâ±ÔÁ¦¿Í °°Àº »óȲ¿¡ ´ëÀÀÇÒ ¼ö ÀÖ°í, ±¹³»¿¡¼ Á¶´Þ ½Ã ¼öÀÔÇÏ´Â °Íº¸´Ù ºñ¿ëÀûÀÎ Ãø¸é¿¡¼µµ À¯¸®ÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ±¹»êÈÀ²µµ ³ôÀÏ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. Á¤ºÎ´Â À̹ø »ç·Ê¸¦ °è±â·Î ¾ÕÀ¸·Î ¿Ü±¹ÀÎ ÅõÀÚ À¯Ä¡¸¦ ´õ¿í È®´ëÇÏ°í ÇÙ½É ¼ÒÀç¤ýºÎÇ°¤ýÀåºñ¿¡ ´ëÇÑ °ø±Þ¼± ´Ùº¯È¸¦ °è¼ÓÇؼ ÃßÁøÇØ ³ª°¡¾ß ÇÑ´Ù.
±èÇÊÁß ±âÀÚ kpj11@naver.com
<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © AU°æÁ¦, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>