»ó´Ü¿©¹é
HOME ´º½º »çȸ¡¤¹®È­
KAIST, ³ª¼±Çü ³ª³ë±¸Á¶Ã¼ Á¦Á¶ ¿øÃµ±â¼ú °³¹ß°íÈ¿À² ±¤ÀüÀÚ ¼ÒÀÚ, 3Â÷¿ø ¹ÝµµÃ¼ °³¹ß¿¡ ±â¹Ý±â¼ú·Î Ȱ¿ëµÉ °Í

   
¡ã ´Ù°ø¼º ¾ç±Ø¾Ë·ç¹Ì´½ ³ª³ëä³Î ¼Ó¿¡¼­ Çü¼ºµÈ ´ÜÀÏ ³ª¼± ³ª³ë±¸Á¶Ã¼(³ë¶õ¼± ±âÁØ ¾Æ·¡)¿Í ¹Ìó ³ª³ë ä³Î¼Ó¿¡ µé¾î°¡Áö ¸øÇØ ÇüÅ ¹× ¼ºÀå ¹æÇâÀÌ ºÒ±ÔÄ¢ÇÏ°Ô Á¸ÀçÇÏ´Â ³ª¼± ³ª³ë±¸Á¶Ã¼(³ë¶õ¼± ±âÁØ À§) B. ³ª¼± ³ª³ë±¸Á¶Ã¼°¡ ¾ç±Ø»êÈ­¹° ¼Ó¿¡ µé¾î°¡´Â Çö»óÀ» º¸¿©ÁÖ´Â °³³äµµ. ¾ç±Ø»êÈ­¹° ³ª³ëä³ÎÀÇ Áö¸§Àº 20~200nm, Àüü ¸· µÎ²²´Â 5 um~ ¼ö½Ê um·Î Á¶ÀýÀÌ °¡´É C. B¹æ¹ýÀ» ÅëÇØ Çü¼ºµÈ ³ª¼± ³ª³ë±¸Á¶Ã¼´Â ³ª¼± ¹ÝÁÖ±â(half-pitch)°¡ 100~120nm ¹üÀ§¿¡¼­ 1nm °£°ÝÀ¸·Î Á¶ÀýÀÌ µÇ¸ç Áö¸§ÀÌ 20~80 nm±îÁö ÀÚÀ¯·Ó°Ô Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖÀ½.<»çÁøÁ¦°ø=KAIST>
[¾ÆÀ¯°æÁ¦=°­³²¿ë ±âÀÚ] KAIST ³ª³ë°úÇбâ¼ú´ëÇпø À±µ¿±â ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀÀº ÀÚ±âÁ¶¸³ Çö»óÀ» ÀÌ¿ëÇØ ¸Å¿ì Á¤¹ÐÇÑ ³ª¼±Çü ³ª³ë±¸Á¶Ã¼¸¦ °³¹ßÇß´Ù°í 20ÀÏ ¹àÇû´Ù.

À̹ø¿¡ °³¹ßµÈ ±â¼ú·Î 3Â÷¿ø±¸Á¶ Áß¿¡¼­µµ °¡Àå ±¸ÇöÇÏ±â ¾î·Æ´Ù´Â ³ª¼±Çü ±¸Á¶¸¦ ³ÐÀº ¸éÀû¿¡ ´Ù¾çÇÏ°Ô º¯ÇüÇØ ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Ù. ¾×Á¤(¾×ü¿Í °áÁ¤ÀÇ Áß°£»óÅÂ)¹°Áú·Î ¸¸µç ÀÌ ±¸Á¶´Â 20~200nm(³ª³ë¹ÌÅÍ) Å©±âÀÇ Á¦ÇÑµÈ °ø°£¿¡¼­ ±ÕÀÏÇÑ ³ª¼± ÇüŸ¦ À¯ÁöÇß´Ù. ¶Ç ³ª³ë±¸Á¶Ã¼ÀÇ Áö¸§ÀÌ Ä¿Áü¿¡ µû¶ó ³ª¼± ÆÐÅÏÀÇ °£°Ýµµ ÀÏÁ¤ÇÏ°Ô ´Ã¾î³ª´Â Ư¼ºÀ» º¸¿´´Ù.

ÀÌ ±â¼úÀ» Ȱ¿ëÇϸé ÀüÀÚ±âÀå¿¡ ¹Î°¨ÇÏ°Ô ¹ÝÀÀÇÏ´Â ¾×Á¤ ¼ÒÀçÀÇ °íÀ¯¼ºÁú°ú À¶ÇÕÇØ °íÈ¿À²ÀÇ ±¤ÀüÀÚ ¼ÒÀÚ °³¹ß¿¡ µµ¿òÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î Çаè´Â ±â´ëÇϰí ÀÖ´Ù.

³ª¾Æ°¡ ÇöÀç ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶°øÁ¤¿¡¼­ »ç¿ë ÁßÀÎ 2Â÷¿ø ±¤½Ä°¢°øÁ¤¿¡¼­ ¹þ¾î³ª 3Â÷¿ø ÆÐÅÍ´× ±â¼ú·Îµµ ¹ßÀü½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù. ¿¬±¸ÆÀÀÇ ±â¼úÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î 3Â÷¿ø ¹ÝµµÃ¼°¡ °³¹ßµÇ¸é Áö±Ýº¸´Ù ÃÖ¼Ò ¼ö¹é¹è ¸¹Àº µ¥ÀÌÅ͸¦ ÀúÀåÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÈ´Ù. ¶Ç °øÁ¤À» ȹ±âÀûÀ¸·Î ÁÙ¿© Á¦Á¶ºñ¿ëµµ Å©°Ô Àý°¨ÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.

À̹ø ¿¬±¸ÀÇ ÇÙ½É ±â¼úÀÎ ‘ÇÑÁ¤µÈ °ø°£¿¡¼­ÀÇ ÀÚ±âÁ¶¸³’À̶õ, ¾ÆÀ̵éÀÇ Àå³­°¨ÀÎ ·¹°íºí·° ³îÀÌó·³ ÁÖÀ§ÀÇ È¯°æ(¿Âµµ, ³óµµ, pH µî)¿¡ µû¶ó ¹°¸®ÀûÀ¸·Î Á¶¸³°ú ºÐ¸®°¡ °¡´ÉÇÑ ´Ù¾çÇÑ ¿¬¼ºÀç·á(°íºÐÀÚ, ¾×Á¤, »ýüºÐÀÚ µî)¸¦ ¼ö½Ê ³ª³ë¹ÌÅÍÀÇ °ø°£ ¼Ó¿¡¼­ º¹ÀâÇÑ ³ª³ë±¸Á¶Ã¼¸¦ Á¦¾îÇÏ´Â ±â¼úÀÌ´Ù.

¿¬±¸ÆÀÀº Àü±âÈ­ÇÐÀû ¹ÝÀÀÀ» ÅëÇØ ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Â ´Ù°ø¼º ¾ç±Ø»êÈ­¾Ë·ç¹Ì´½¸·À» ÀÌ¿ëÇØ ¼ö½Ê ³ª³ë¹ÌÅÍ ¼öÁØÀÇ ÇÑÁ¤µÈ °ø°£À» ¸¸µé¾ú´Ù. ÀÌÈÄ ¼ö ³ª³ë¹ÌÅÍ ¼öÁØ¿¡¼­ ÈÖ¾îÁ® ÀÖ´Â ¾×Á¤ ºÐÀÚ°¡ Çü¼ºÇÏ´Â ³ª¼±Çü ³ª³ë±¸Á¶Ã¼¸¦ ±× °ø°£ ¼Ó¿¡¼­ Çü¼º½ÃÄÑ µ¶¸³ÀûÀ¸·Î Á¦¾îµÈ ³ª¼± ³ª³ë±¸Á¶Ã¼¸¦ ±¸ÇöÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù.

À±µ¿±â ±³¼ö´Â À̹ø ¿¬±¸¿¡ ´ëÇØ “¾×Á¤¹°ÁúÀÌ Çü¼ºÇÏ´Â ³ª¼± ³ª³ë±¸Á¶Ã¼ Á¦¾îÀÇ ¹°¸®·È­ÇÐÀû ¿ø¸® ±Ô¸í¿¡ ¼¼°èÃÖÃÊ·Î ¼º°øÇß´Ù”¸ç “À̹ø ±â¼ú·Î ´Ù¾çÇÑ À¯±âºÐÀÚ°¡ ÀÌ·ç´Â º¹ÀâÇÑ ³ª³ë±¸Á¶Ã¼µéÀ» ±âÆÇÀÇ Ç¥¸é °³Áú ¹× ÇÑÁ¤µÈ °ø°£À» ÀÌ¿ëÇØ Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ÇâÈÄ À¯±âºÐÀÚ ±â¹Ý ³ª³ë±¸Á¶Ã¼ ¿¬±¸¿¡ Ä¿´Ù¶õ ±â¿©¸¦ ÇÒ °Í”À̶ó°í ¿¬±¸ ÀÇÀǸ¦ ¼³¸íÇß´Ù.

ÀÌ¿Í ÇÔ²² “°³¹ßµÈ ¿øÃµ±â¼úÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î NT(³ª³ëÅ×Å©³î·ÎÁö)¿Í IT(Á¤º¸Å×Å©³î·ÎÁö)°¡ Á¢¸ñµÉ ¼ö ÀÖ´Â Àü±â°¡ ¸¶·ÃµÅ LCD µî ¾×Á¤°ü·Ã ºÐ¾ß¿¡¼­ Â÷¼¼´ë ½Å¼ºÀ嵿·ÂÀ» âÃâÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °Í”À̶ó°í ¸»Çß´Ù.

 

±è³²¿ë ±âÀÚ  koreaareyou@naver.com

<ÀúÀÛ±ÇÀÚ © AU°æÁ¦, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö>

iconÀαâ±â»ç
¿©¹é
¸¹ÀÌ º» ´º½º
¿©¹é
¿©¹é
Back to Top